Techniky depozície tenkých vrstiev

Základom prípravy tenkých vrstiev je depozícia látky z plynného stavu na substrát. Techniky prípravy rozdeľujeme na:
• chemické a
• fyzikálne

Ku chemickým metódam patria metódy: 

• sprejové
• plazmo-sprejové
• sól-gélové
• sprejová pyrolýza 
• MOCVD - chemická depozícia z pár organokovových zlúčenín.

K najznámejším fyzikálnym metódam patria:

• epitaxia molekulovým zväzkom
• laserová ablácia
• vákuové naparovanie 
• magnetrónové naprašovanie.

Spoločným znakom týchto metód je depozícia pri zníženom tlaku, čo uľahčuje transport častíc nanášanej látky na substrát.